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设备特点
实现了在真空环境中辐射和热传导并存,提高了被试件升降温速率。
采用低温泵和干泵抽气系统来实现真空系统中清洁无油污染的要求。
技术指标
1.真空度:极限真空度≤5×10-5Pa,工作真空度≤1.3×10-3Pa;
2.热沉温度范围:-75℃~+150℃;
3.制冷方式:载冷剂方式,采用热沉和冷板;
4.温度均匀性:优于±2℃;
5.控温精度:±1℃;
6.升降温平均速率:≥1℃/min (-55℃~+110℃范围内);
7.温度稳定性:≤1℃/h;