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设备概述:
真空储存柜用于电子产品(半导体、电路板、电子成品、芯片、电池板、电池片、电子元器件、高级金属制品、厌氧产品、易氧化产品等),在真空环境下储存,具备防止氧化、变色、褐变、受潮、可保质延长产品储存期限等功能。
技术参数:
1、工位数:11个;
2、极限真空度:<10-4Pa;
3、系统漏率:<10-10Pa.m³/S;
4、腔体尺寸:按需求定制;
5、每个工位可独立控制,可单独抽气和放气,可选择氮气清洗模式或者抽真空模式;
6、整个系统保证纯无油状态;
7、进气管路设置过滤器;