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3轴圆柱坐标型洁净机械手臂适用于液晶面板生产设备内部,检测设备等的玻璃基板搬运
Z轴升降范围超过760 mm以上的部分为多段式,能够有效地降低搬运高度
应用设备实例
AOI设备;液晶工厂内生产线
规格
被搬运物* | 730x920x1.1mm玻璃基板(具有代表性的标准尺寸) | ||
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手臂 | 旋转 | 升降 | |
可动范围* (被搬送物体中心到达距离) | 1550 mm | 330度 | 600 mm |
搬运速度 (平均速度)* | 1375 mm/1.8sec | 180度/1.5sec | 600 mm/1.7sec |
精度* | 8.2 µm以下 | 0.0008度 | 2.4 µm以下 |
搬运高度* | 217mm(法兰安装面到手指上的晶圆安装面的高度) | ||
重复性精度 | ±0.2mm以内 | ||
洁净度 | 0.3µm/cf Class10(驱动结构内部独立排气的条件下) | ||
厂务 | 电源:単相AC200V±10% 3 kVA 真空:优于-73kPa |
*测试机型:LHR3400C-600-AM的标准型号 (被搬运物体,以及手指形状的不同上述测量结果会不同)
3轴圆柱坐标型洁净机械手臂
特点
可用于G4.5尺寸玻璃基板的搬运,Z轴大行程900 mm