储片盒内晶圆自动搬运传输平台能够安全，准确地搬运储片盒内的减薄晶圆。
搭载储片盒自动开盖机构

储片盒内晶圆自动搬运传输平台

• 自动识别储片盒内晶圆和垫纸（层间纸）
• 一台设备可以完成打包和拆包的功能
• 储片盒和片盒间晶圆的无损伤自动搬运
• 可选装针对减薄晶圆的伯努利手指
• 可自动识别晶圆高度
• 可满足客户对多个片盒及不同尺寸晶圆传输的需求
• 可对应Achilles Corporation公司生产的储片盒
• 配备2套高效过滤装置(HEPA规格),确保设备内部洁净度
• 配备颜色视觉传感器,能够分辨不同颜色的垫片(片间垫纸)

  应用设备实例

  半导体工厂生产线

  规格

  可对应片盒的种类	200 mm 储片盒, 200 mm 片盒
  被搬运物	200 mm 硅晶圆, 200 mm 储片盒内垫片(片间垫片)
  洁净度	ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下)
  外形尺寸	1600 (宽) x 1305 (深) x 1800 (高)
  厂务	电源：AC200V±10%  洁净气源：0.5 MPa 150 NL/min 以上
  重量	700 kg