SSCR3115N3轴圆柱坐标型洁净机械手臂适用于半导体生产设备内部，检测设备以及LED芯片生产设备等的小尺寸晶圆搬运，通过优化机械手臂的空间尺寸，有利于实现设备的小型化。安装有Z轴的小型机械手臂，可用于100 mm以下尺寸晶圆的搬运，通过采用双手指结构显著提高了晶圆搬运效率。

SSCR3115N3轴圆柱坐标型洁净机械手臂

• 同SSCR2090S-PM兼容，连杆式手臂，可以定制没有Z轴模块的机械手臂
• 可搬运重量：手臂第3关节处基准0.2kgf以下（只包含被搬运物）
• 配备动作监视器
• 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
• 全轴使用2相步进电机
• S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
• 晶圆固定方式：真空吸附式
• 手指材质：CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
• 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供优的手指