SORTER SYSTEM传输平台可实现400片/小时产率的高性能晶圆搬运系统，系统内部使用了本公司设计生产的高性能大气机械手臂和校准器；

应用设备实例

半导体生产线

SORTER SYSTEM传输平台

• 依据SEMI Standard标准(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
• 校准器设有缓冲器功能, 使晶圆的更换成为可能, 实现了高吞吐量 (400片/h)
• 搬运机械手采用路径规划方式, 无行走轴, 支持并列配置盒
• 搬运机械手进行区域控制, 能够顺畅而快速地进行搬运
• 配备ID阅读器, 可以进行晶圆的ID读取 (表里支持为选购件)

  规格

  对应片盒	300 mm FOUP（25片）
  	SEMI E47.1，E62标准品
  对应晶圆	300 mm 硅片（厚度：775 µm）
  Throughput*	400片/h
  洁净度	ISO标准 Class 2（FFU使用）
  外形尺寸*	W1756xD1200xH1901
  重量*	大约 600 kg
  厂务	电源：AC200V±15% 20A
  	干燥空气：0.7 MPa to 0.4 MPa
  	真空：优于-60 kPa