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SSY-10000桌面装载机系统搬运小尺寸晶圆的小型系统，可用于晶圆表面检测，相对现有的手动设备，晶圆自动装卸载系统能够规避人工搬运晶圆的各种风险，维持产品质量的稳定，以及提高设备的生产效率；
SSY-10000桌面装载机系统
应用设备实例
半导体生产线，实验室
规格
| 对应片盒 | 3寸晶圆Cassette |
|---|---|
| 对应晶圆 | SEMI规格 3寸硅片 |
| 洁净度 | ISO标准 Class 2（驱动装置内部独立排气的条件下） |
| 外形尺寸 | W380xD500xH420 |
| 重量 | 35Kg |
| 厂务 | 电源：100V 1KVA |
| 真空：优于-70kPa *30 L/min以上的排气能力 |
