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SORTER SYSTEM150 mm晶圆传输平台适用多种设备，通用性好，可根据客户要求进行定制设计，系统内部使用了本公司设计生产的高性能大气机械手臂和校准器
SORTER SYSTEM150 mm晶圆传输平台
应用设备实例
PE-CVD设备
规格
| 被搬运物 | 150 mm 晶圆（玻璃, 蓝宝石, GaAs） | |||
|---|---|---|---|---|
| 处理量 | 140片/h（不包括装备的处理时间） | |||
| <GCR4210-500-AM> | ||||
| 动作范围 | 到达距离 （被搬运物体中心） | 旋转角度（θ轴） | 升降轴（Z轴） | 翻转轴 |
| 672mm | 335度 | 500 mm | 180度 | |
| 搬运速度 （平均速度） | 机械臂 | 旋转角度（θ轴） | 升降轴（Z轴） | |
| 550 mm/秒 | 300度/秒 | 300 mm/秒 | ||
| 搬运速度 （速度） | 机械臂 | 旋转角度（θ轴） | 升降轴（Z轴） | |
| 900 mm/秒 | 400度/秒 | 450 mm/秒 | ||
| 不配备翻转装置 真空吸引搬运 | 机械臂 | 旋转角度（θ轴） | 升降轴（Z轴） | |
| 1800 mm/秒 | 540度/秒 | 500 mm/秒 | ||
| 反复偏差值 | ±0.1 mm以内 | |||
| <SAL3361GR> | ||||
| 位置精度 | 中心定位 ±0.2mm以内 切边定位 ±0.2度以内 | |||
| 位置确定所需时间 | 槽口检测 3秒以内 (不实行从新夹持动作) | |||
| 位置补正范围 | 半径4mm以内 | |||
| <系统> | ||||
| 晶圆保持方式 | 真空吸引 | |||
| 清净度 | ISO标准 Class 2（驱动结构内部独立排气条件下） | |||
| 占用空间 | 640 mm×835 mm (不包括触摸屏) | |||
| 质量 | 大约350 kg | |||
| 厂务 | 电源：单相交流200V±10% 15A 真空：-53 kPa以上 | |||
