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SORTER SYSTEM传输平台系统可实现300片/小时产率的高性能晶圆搬运系统,系统内部使用了本公司设计生产的高性能大气机械手臂和校准器
SORTER SYSTEM传输平台系统
应用设备实例
半导体生产线
规格
对应片盒 | 300 mm FOUP(25片) |
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SEMI E47.1,E62标准品 | |
对应晶圆 | 300 mm 硅片(厚度775 µm) |
Throughput* | 300片/h |
洁净度 | ISO标准 Class 2(FFU使用) |
外形尺寸* | W1250xD2500xH1900 |
重量* | 大约 800 kg |
厂务 | 电源:AC200V±10% 2kVA |
干燥空气:0.5MPa±10% | |
真空:优于-53 kPa |