双腕玻璃基板搬运机器人
负载：95KG
动态范围：2300mm
控制柜：DX100
用途：搬运、洁净室

特点

l 大动作范围：搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人。

l 手臂采用连杆机构实现高钢性。

l 采用真空内传送带驱动实现低放出气体性能。

l 手臂可内置基板传感器用配线。

*1：动作节拍不保证带有基板时搬运速度。由于抓手的形状及抓手的安装部分的钢性产生共振时，会影响动作节拍，请重新设定。
*2：依据JIS B8432标准的动作重复定位精度。但有无工件时负载变动以及使用速度的差异、温度变化的影响不考虑在内。