半导体晶片搬运用机器人
负载：-
动态范围：1215mm
控制柜：SR100
用途：搬运、半导体

特点

l 大动作范围：EFEM模块移动距离可达4套应用设备，无需使用底架，极大地提高了搬运效率。

l 高速搬运：300枚/小时

l 适用：300mm-450mm晶片搬运

*1：本公司标准终端效应器(300mm:边缘把持/真空吸着,450mm:真空吸)
*2：300mm晶体(SEMI规格标准品),当使用本公司标准300mm对应终端校准器时
*3：机械臂回旋中心位置～晶体中心位置(本公司标准300mm对应终端效应器时)
*4：根据SEMI规格为基准的晶体规格。特殊石英晶体请与我司联系。石英晶体也可对应（有业绩）。但是根据石英规格，本公司需要进行评价和调整。
*5：在0.3m/s的流量下，机械臂进行真空吸附