负载：60KG
动态范围：2300mm
控制柜：DX100
用途：搬运、洁净室
特点
适用于第8代（2200*2500mm）超大型液晶玻璃基板的高速搬运。
高速、稳定搬运，提高生产效率。
高度柔性动作，大幅度削减配套设备费用。
长期保持高洁净度，降低运营成本。
大幅缩短生产线建立时间。

*1：依据JIS B8432标准
*2：洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下，来确保工件搬运面以上洁净度。
*3：根据用途、作业形式会有所不同。