洁净室搬运机器人
负载：165KG
动态范围：2650mm
控制柜：DX100
用途：搬运、半导体、洁净室

特点

l 大负载：165KG

l 大动作范围：水平伸长达2650mm,动作高度达3130mm。

l 洁净度达到ISO6级，可实现高度柔性的系统布局。

*1：依据JIS B8432标准
*2：洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下，来确保整个洁净室的洁净度。
*3：根据用途、作业形式会有所不同。