大型液晶玻璃基板搬运机器人
负载：50KG
动态范围：1675mm
控制柜：DX100
用途：搬运、洁净室

特点

l 适用于第6代（1500*1850mm）超大型液晶玻璃基板的高速搬运。

l 利用长距离上下屈伸、低pass line以及双手臂的特性，实现洁净室内多层液晶玻璃基板箱体内的高速搬运。

*1：依据JIS B8432标准
*2：洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下，来确保工件搬运面以上洁净度。
*3：根据用途、作业形式会有所不同。