真空洁净机械手臂

真空洁净机械手臂可以使用在高真空环境里，能够在真空环境下完成晶圆或者托盘等的传输。和大气洁净机械手臂不同的地方在于需要使用真空密封装置来实现运动机构的动力传输。真空密封装置主要有磁流体密封方式，真空电机方式以及特种橡胶圈密封方式等。 参考价面议

3轴圆柱坐标型洁净机械手臂

3轴圆柱坐标型洁净机械手臂适用于液晶面板生产设备内部，检测设备等的玻璃基板搬运
Z轴升降范围超过760 mm以上的部分为多段式，能够有效地降低搬运高度 参考价面议

4轴圆柱坐标型洁净机械手臂

4轴圆柱坐标型洁净机械手臂适用于液晶面板生产设备内部，检测设备等的玻璃基板搬运
Z轴升降范围超过760 mm以上的部分为多段式，能够有效地降低搬运高度 参考价面议

2寸晶圆对应校准器（Aligner）

2寸晶圆对应校准器（Aligner）适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆位置的校准。有利于传输模块、真空传输腔室的小型化 参考价面议

SAL3000HV系列晶圆校准器

SAL3000HV系列晶圆校准器适用于2, 3寸, 100-300 mm晶圆, 可适用于多种晶圆的新型Aligner。全自动调整功能软件【JEL ALIGN TOOL】能够完成多种不同用途晶圆的校准功能。 参考价面议

SAL3261GR晶圆对应光学式校准器

SAL3261GR晶圆对应光学式校准器适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆位置的校准。可用于LED行业蓝宝石晶圆的搬运。 参考价面议

SAL3481晶圆对应光学式校准器

SAL3481晶圆对应光学式校准器适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆位置的校准。可用于4～8寸晶圆的搬运，体积小，性价比高。 参考价面议

大气洁净机械手臂

JEL在日本国内生产的大气洁净机械手臂具有非常好的性价比优势，而且做工精良，性能稳定可靠，被广泛应用于半导体生产设备，LED生产设备以及液晶生产设备等。客户主要分布在日本，韩国以及中国台湾等地区。 参考价面议

SORTER SYSTEM传输平台系统

SORTER SYSTEM传输平台系统可实现300片/小时产率的高性能晶圆搬运系统，系统内部使用了本公司设计生产的高性能大气机械手臂和校准器 参考价面议

SORTER SYSTEM传输平台

SORTER SYSTEM传输平台可实现400片/小时产率的高性能晶圆搬运系统，系统内部使用了本公司设计生产的高性能大气机械手臂和校准器 参考价面议

SORTER SYSTEM150 mm晶圆传输平台

SORTER SYSTEM150 mm晶圆传输平台适用多种设备，通用性好，可根据客户要求进行定制设计，系统内部使用了本公司设计生产的高性能大气机械手臂和校准器 参考价面议

储片盒内晶圆自动搬运传输平台

储片盒内晶圆自动搬运传输平台能够安全，准确地搬运储片盒内的减薄晶圆。
搭载储片盒自动开盖机构 参考价面议