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SENpro SENTECH-光谱椭偏仪 - (SENpro)
- 型号
- SENpro
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上海德竹芯源科技有限公司是一家专注于功率器件、光电器件、射频器件、量子器件、MEMS传感器领域的设备销售、系统集成、设备国产化的公司。主要为高校、研究所、中试量产线及晶圆FAB厂提供半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备。目前公司已成为国内少数几家专业提供半导体工艺、检测、封装、测试整体解决方案的企业。公司主要成员为复旦大学、上海微系统所等半导体相关专业博士，拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售前售中、售后的服务。目前公司已与众多国际半导体设备企业建立了良好的合作关系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根据用户的科研方向和量产的器件类别提供相应的全套设备选型和工艺整体解决方案。
详细信息
成本效益
● SENpro 是具成本效益的光谱椭偏仪，同时不影响*测量性能。
可变入射角
● 光谱椭偏仪 SENpro 包括可变入射角的角度计，40°—90°，步进值 5°，用于优化椭偏测量。
步进扫描分析器
● SENpro 具有步进扫描分析器。在数据采集过程中，偏振器和补偿器固定，以提供高的椭偏测量精度。
● 光谱椭偏仪 SENpro 具有操作简单，测量速度快，能对不同入射角的椭偏测量数据进行组合分析等特点。光谱范围为 370 到 1050 nm。SENpro 的光谱范围与精密的 SpectraRay/4 软件相结合，可轻易地确定单层膜和复合层叠膜的厚度和折射率。
● 具有成本效益的桌面式 SENpro 包括可见光到近红外椭偏仪光学，5° 步进角度计，样品台、激光准直器、光纤耦合稳定光源和探测器单元。SENpro 配备了用于系统控制和数据分析的光谱椭偏仪软件 SpectraRay/4 ，用于包括建模，拟合和报告输出。即使对于初学者，该程序文件操作都非常容易。SpectraRay/4 支持计算机控制的用于均匀性测量的自动扫描。
● SENpro 专注于薄膜测量的速度和精度，不管是何种薄膜应用。测量范围从 1 nm 的薄层膜到 15 μm 的厚层膜。
● 对于各种各样的应用，SpectraRay/4 都提供了预定义的配方。
