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TDS1200II TDS红外加热型质谱仪
- 型号
- TDS1200II
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上海德竹芯源科技有限公司是一家专注于功率器件、光电器件、射频器件、量子器件、MEMS传感器领域的设备销售、系统集成、设备国产化的公司。主要为高校、研究所、中试量产线及晶圆FAB厂提供半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备。目前公司已成为国内少数几家专业提供半导体工艺、检测、封装、测试整体解决方案的企业。公司主要成员为复旦大学、上海微系统所等半导体相关专业博士，拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售前售中、售后的服务。目前公司已与众多国际半导体设备企业建立了良好的合作关系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根据用户的科研方向和量产的器件类别提供相应的全套设备选型和工艺整体解决方案。
详细信息
TDS是一种质谱仪，通过监测在超高真空中加热/升温后从材料表面产生的气体，可以评估表面杂质和调查材料本身的成分，目前在半导体、液晶、有机EL、电气、钢铁、汽车、陶瓷等各种领域，用于材料的研究和制造过程中的评估，以及质量控制。
红外加热型升温脱附质谱仪TDS1200II是一种通过质谱仪实时观测样品在超高真空中编程升温时脱附的分子的分析仪。
由于在真空中进行测量，水，氢，氧，二氧化碳等容易产生高背景的成分也可以从极小的量中检测出来。
可以对从样品中脱附的分子进行化学物种的鉴定和定量。此外，它还提供了脱附气体的吸附/结合状态和扩散过程等信息。
它是测量薄膜样品和薄板样品的理想选择，这些样品容易进行红外加热。新款TDS1200II更新了原有TDS1200的系统，界面采用触控面板。符合CE使用标准。
主要特色
● 进料固定室：能够将样品快速地导入超高真空分析室，提高测量效率（高吞吐量）和灵敏度
● 红外加热系统：通过石英棒引入的红外线直接加热样品，即使在高温区域，本底水平的升高也最小化，可实现高灵敏度测量
● 四级杆质谱仪（QMS）布局：QMS电离室设置在样品的正上方，以高灵敏度地检测脱附气体
● 脱附气体的定量：当前的定量程序可以快捷、安全地定量脱附气体
