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SE 400adv SENTECH-激光椭偏仪 - (SE 400adv)
- 型号
- SE 400adv
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无线电综合测试仪
上海德竹芯源科技有限公司是一家专注于功率器件、光电器件、射频器件、量子器件、MEMS传感器领域的设备销售、系统集成、设备国产化的公司。主要为高校、研究所、中试量产线及晶圆FAB厂提供半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备。目前公司已成为国内少数几家专业提供半导体工艺、检测、封装、测试整体解决方案的企业。公司主要成员为复旦大学、上海微系统所等半导体相关专业博士，拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售前售中、售后的服务。目前公司已与众多国际半导体设备企业建立了良好的合作关系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根据用户的科研方向和量产的器件类别提供相应的全套设备选型和工艺整体解决方案。
详细信息
亚埃精度
● 稳定的氦氖激光器保证了 0.1 埃精度的超薄单层薄膜厚度测量。
扩展激光椭偏仪的极限
● 性能优异的多角度手动角度计和角度精度*的激光椭偏仪允许测量单层薄膜和层叠膜的折射率、消光系数和膜厚。
高速测量
● 激光椭偏仪 SE 400adv 的高速测量速度使得用户可以监控单层薄膜的生长和终点检测，或做样品均匀性的自动扫描。
● 激光椭偏仪 SE 400adv 可用于从可选择的、应用特定的入射角度表征单层薄膜和基片。自动准直透镜确保在大多数平坦反射表面的吸收或透明衬底上进行准确测量。多角度测量的集成支持(40°—90°，5° 步进)，可用于确定层叠的厚度、折射率和消光系数。为了补偿激光椭偏测量中厚度测量的模糊性，厚度测量中也采用了多角度测量。
● 激光椭偏仪 SE 400adv，用于超薄单层薄膜的厚度测量。小型台式仪器由椭偏仪光学部件、角度计、样品台、自动准直透镜、氦氖激光光源和检测单元组成。激光椭偏仪 SE 400adv 的选项支持在微电子、光伏、数据存储、显示技术、生命科学、金属加工等领域的应用。
