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XPert³ MRD X'Pert³ MRD 高分辨X射线衍射仪

型号
XPert³ MRD

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无线电综合测试仪
上海德竹芯源科技有限公司是一家专注于功率器件、光电器件、射频器件、量子器件、MEMS传感器领域的设备销售、系统集成、设备国产化的公司。主要为高校、研究所、中试量产线及晶圆FAB厂提供半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备。目前公司已成为国内少数几家专业提供半导体工艺、检测、封装、测试整体解决方案的企业。公司主要成员为复旦大学、上海微系统所等半导体相关专业博士,拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售前售中、售后的服务。目前公司已与众多国际半导体设备企业建立了良好的合作关系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根据用户的科研方向和量产的器件类别提供相应的全套设备选型和工艺整体解决方案。

详细信息

设备功能

倒易空间扫描(RSM) – 一分钟完成自动扫描及自动分析

高分辨衍射(HRXRD) – W/2T,2T/W,2T……扫描

摇摆曲线(Rocking Curve) – W 扫描

反射率(XRR) – 材料密度,厚度,粗糙度(Option)

晶格参数(Lattice parameter),晶向(Orientation)及晶面鉴定(Reflection plane)

切角(Off-Cut)及平辺方向(Flat)鉴定

晶体缺陷鉴定(Defect)

曲率半径鉴定(Curvature)

应力(Strain)及弛裕度(relaxation)鉴定

晶格失配率鉴定(Mismatch)

成份分析,厚度分析

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