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RM1000 / RM2000 SENTECH-反射膜厚仪 - (RM1000/2000 )
- 型号
- RM1000 / RM2000
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无线电综合测试仪
上海德竹芯源科技有限公司是一家专注于功率器件、光电器件、射频器件、量子器件、MEMS传感器领域的设备销售、系统集成、设备国产化的公司。主要为高校、研究所、中试量产线及晶圆FAB厂提供半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备。目前公司已成为国内少数几家专业提供半导体工艺、检测、封装、测试整体解决方案的企业。公司主要成员为复旦大学、上海微系统所等半导体相关专业博士，拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售前售中、售后的服务。目前公司已与众多国际半导体设备企业建立了良好的合作关系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根据用户的科研方向和量产的器件类别提供相应的全套设备选型和工艺整体解决方案。
详细信息
扩展折射率指数测量极限
● SENTECH 的反射仪的特点是通过样品的高度和倾斜调整进行准确的单光束反射率测量，光学布局的高光导允许对 n 和 k 进行重复测量，对粗糙表面进行测量及对非常薄的薄膜进行厚度测量。
紫外-近红外光谱范围
● RM1000 430 nm – 930 nm
● RM2000 200 nm – 930 nm
高分辨率自动扫描
● 反射仪 RM1000 和 RM2000 可选配 x-y 自动扫描台和自动扫描软件、用于小光斑尺寸的物镜和摄像机。
● 反射膜厚仪 RM1000 和 RM2000 测量具有光滑或粗糙表面的平坦或弯曲样品的反射率。利用 SENTECH FTPadv Expert 软件计算单层或层叠膜的厚度、消光系数和折射率指数。在紫外-可见光-近红外光谱范围内，可分析 5nm～50μm 厚度的单层膜、层叠膜和基片。
● RM1000 和 RM2000 代表 SENTECH 反射仪。台式装置包括高度稳定的光源、具有自动准直透镜和显微镜的反射光学部件、高度和倾斜可调的样品台、光谱光度计和电源。它可以选配 x-y 自动扫描台和自动扫描软件、用于小光斑尺寸的物镜和摄像机。
● 除了膜厚和光学常数之外，我们的反射仪还可测量薄膜（例如，AlGaN on GaN，SiGe on Si）、防反射涂层（例如，纹理硅太阳能电池上的防反射涂层、紫外敏感 GaN 器件上的防反射涂层），以及小型科研支架上的防反射涂层。该反射仪支持在微电子、微系统技术、光电子、玻璃涂层、平板技术、生命科学、生物技术等领域的应用。
