SBC-12小型粒子溅射仪
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苏州中科科美科技有限公司
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技术性能
1.溅射电压:1.6KV;
2.金靶尺寸:Φ58mm;
3.真空检测:皮氏计;
4.试样台尺寸:Φ40mm可同时放置6个样品杯;
5.蒸发镀玻璃隔离罩尺寸:内径Φ100mm×高度140mm;
6.真空系统:直联旋片真空泵2L/S;
7.真空保护20Pa,配有充气调节阀调节真空;
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