分子束外延设备
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苏州中科科美科技有限公司
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应用领域
分子束外延技术广泛应用于薄膜材料外延生长、纳米尺度器件制造等领域。
有机分子束外延(Molecular Beam Epitaxy)是一种物理沉积单晶薄膜的方法,能够精确控制外延薄膜的厚度、成分,实现亚单原子层精度的生长。
技术参数
1.极限真空压力: 10-7Pa
2.样品加热温度:150℃
3.束源炉温控精度:±1%
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