分子束外延设备

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2024-09-27 12:13:50
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苏州中科科美科技有限公司

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产品简介

分子束外延技术广泛应用于薄膜材料外延生长、纳米尺度器件制造等领域。有机分子束外延（Molecular Beam Epitaxy）是一种物理沉积单晶薄膜的方法，能够精确控制外延薄膜的厚度、成分，实现亚单原子层精度的生长。

详细介绍

应用领域

分子束外延技术广泛应用于薄膜材料外延生长、纳米尺度器件制造等领域。

有机分子束外延（Molecular Beam Epitaxy）是一种物理沉积单晶薄膜的方法，能够精确控制外延薄膜的厚度、成分，实现亚单原子层精度的生长。


技术参数

1.极限真空压力： 10-7Pa

2.样品加热温度：150℃ 

3.束源炉温控精度：±1%


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