起订量:
| 型号 | PM100 |
| 等离子发生源 | 低频高电压电源,输出约100W,周波数60KHz、输出电压10kV |
| 电机构造 | 电容型 2分割 |
| 气体流量计 | 氧气用、流量30~300mL/min |
| 真空调整阀门 | 抽真空用,回大气用 |
| 反应腔尺寸 | 内径100mm×深度约200mm |
| 外形尺寸(宽 x 深 x 高mm) | 310 x 300 x 448 |
| 电源 50/60Hz | AC100V 10A(含真空泵Max7A) |
| 真空泵接口 | 外径Φ6.35mm(推荐真空泵排气速度30L/min) |
| 气体接口 | 外径Φ6.35mm |