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YAMATO等离子清洗机PR500

型号

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浚和(上海)仪器科技有限公司是一家供应仪器和设备的专业供应商和服务商,致力于为客户提供专业的定制化解决方案。多年来,持续为医药、化工、高校、科研单位、检测院等多个行业提供*的产品和专业的服务。 浚和仪器在不断引进仪器设备的同时,结合行业和市场需求,加强和客户之间的沟通,并与国际上多家仪器设备制造商保持着长期稳定的合作关系,不定期地与合作商进行技术交流,努力加强自身技术力量。公司配备了数名有着多年行业经验的技术人员,依靠雄厚的技术实力、科学合理的配置方案、专业的安装调试和周到的售后服务,得到了广大用户的支持与信赖。 公司主要经营产品包括:等离子清洗机、真空泵、喷雾干燥器、高压灭菌锅、培养箱、切片机、水分测定仪、激光粒度仪、光谱仪、温湿度记录仪等,目前主要合作品牌有:日本雅马拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、日本KEM等。同时,公司还提供专业的技术服务,如设备的维护、验证等。 浚和仪器将始终以行业特点为立足点,以客户需求为导向,不断地提高自身专业技术能力,不停地*客户服务质量,在发展中保持创新的精神,力求与客户共同进步,为行业的发展作出不懈的努力。

详细信息

低温等离子·经典桶型。

PR500:手动控制 PR510:自动触摸屏控制
内槽
硅晶圆灰化状态
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。
● 去除光刻胶
● 部品清洗
● 界面活性处理
● 微研磨
● 硅晶圆,玻璃基板对应
 

用途
● 大口径(Φ215mm)石英反应腔
● 小型一体化设计

规格:

型号

PR500

PR510

等离子模式

DP模式,桶形

高频输出功率

Max500W

频率

13.56MHz

同调方式

自动协调

反应腔

石英Φ215×305mm

反应气体

2系统(O2/CF4

控制

手动

触模屏自动控制

配管材质

不锈钢、特氟龙

外形尺寸

W438 x D520 x H760mm

参照规格书

重量

约60kg

参照规格书

电源

单相AC100V 9A

三相AC200V 8A



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