起订量:

| 型号 | PDC200 | |
| 方式 | RIE模式、平行平板腔体 | |
| 性能 | 发生器功率: | 0-300W |
| 发生器频率: | 射频RF13.56Mhz | |
| 发生器匹配方式: | 自动匹配(Auto matching) | |
| 构成 | 腔体材质: | 铝制 |
| 腔体内尺寸: | W400×D250×H150mm | |
| 反应气体: | 二路工艺气体,可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。 | |
| 控制方式: | 全自动控制 | |
| 真空度显示: | 数字式皮拉尼传感器,实时显示腔体内真空度。 | |
| 配管材质: | SUS不锈钢以及特氟龙 | |
| 门: | 铰链门 | |
| 外形尺寸: | W540×D600×H600mm | |
| 真空泵抽速: | 4m3/hour | |
| 电源规格: | AC220V 10A | |
| 重量: | 约100kg | |