起订量:
| 型号 | PR200 | PR301 | |||
| 方式 | DP模式、圆柱形腔体 | ||||
| 性能 | 发生器功率: | 0-200W | 0-300W | ||
| 发生器频率: | 射频RF13.56Mhz | ||||
| 发生器匹配方式: | 自动匹配(Auto matching) | 手动匹配(manul)
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| 构成 | 腔体材质: | 高硼硅玻璃 | |||
| 腔体内尺寸: | φ100×L160mm | φ118×L160mm | |||
| 反应气体: | 一路工艺气体,可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。 | ||||
| 控制方式: | 半自动控制 | ||||
| 真空度显示: | 数字式皮拉尼传感器,实时显示腔体内真空度。 | 模拟式压力表 | |||
| 配管材质: | SUS不锈钢以及特氟龙 | ||||
| 门: | 铰链门 | ||||
| 外形尺寸: | W350×D400×H500mm | W438×D520×H630mm | |||
| 真空泵抽速: | 4m3/hour | ||||
| 电源规格: | AC220V 10A | ||||
| 重量: | 约25kg | 约34kg | |||
| 附属品 |
| 真空管件一套、真空转接接头一套、试料托盘一枚。 | |||