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蔡司场发射扫描电子显微镜 Sigma 系列，具有高品质的成像和分析能力，将场发射扫描电子显微镜技术与优秀的用户体验结合。利用 Sigma系列直观的 4 步工作流程，可以提高日常所需的成像和分析效率，在更短的时间内获得更多的数据。可选配多种探测器，以满足颗粒物、纳米结构、薄膜样品等各种不同的应用需求。的 EDS 几何设计可实现出色的元素分析性能，样品适用范围广，且均可获得精准可重复的分析结果。可广泛应用于材料科学、生命科学、工业应用等领域。
产品特点
・灵活的探测手段获取高分辨的图像
・ 智能高效的工作流程
・ *的分析系统
・ 可扩展拉曼光谱成像
・ 的 Gemini 镜筒设计 - 提升光学性能的同时，降低静电场与磁场对样品的影响
应用领域
・ 材料研究，涂层薄膜分析，形态表征与成像分析
・ 生命科学，如冷冻样品高分辨成像
・ 地质矿物学，如材料岩石样品分析
・ 工业应用，如组件失效分析，工艺诊断
・ 电子半导体行业，如质量控制与分析
・ 钢铁行业，如夹杂物分析
技术参数 & 应用领域
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| 蔡司 Sigma 300 | 蔡司 Sigma 500 |
| 电子源 | 肖特基场发射电子枪 | 肖特基场发射电子枪 |
| 30 kV 分辨率★(STEM) | 1.0nm | 0.8nm |
| 15kV 分辨率★ | 1.0nm | 0.8nm |
| 1kV 分辨率★ | 1.6nm | 1.3nm |
| 30 kV 分辨率★(可变压力模式) | 2.0nm | 1.5nm |
| 背散射电子探测器(BSD) | aBSD / HDBSD | aBSD/ HDBSD |
| 扫描速度 | 50ns/ 像素 | 50ns/ 像素 |
| 加速电压 | 0.02- 30kV | 0.02- 30kV |
| 放大倍率 | 10x - 1,000,000x | 10x- 1,000,000x |
| 探针电流 | 3pA-20nA(100nA 可选) | 3pA-20nA(100nA 可选) |
| 图像存储分辨率 | 32k×24k 像素 | 32k×24k 像素 |
| 接口数量 | 10 | 14 |
| EDS 接口 | 2(1 个专用接口) | 3(1 个专用接口) |
★分辨率指标：系统验收时，理想工作距离下，在 1kV 和 15kV 高真空条件下获得的分辨率
| 真空模式 | |||
| 高真空 | 配备 | 配备 |
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| 可变压力 | 10-133Pa | 10-133Pa |
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| 样品台类型 | 5 轴电动优中心样品台 | 5 轴优中心样品台 | 5 轴电动优中心样品台选件 |
| 样品台 X 轴行程 | 125 mm | 130 mm | 125 mm |
| 样品台 Y 轴行程 | 125 mm | 130 mm | 125 mm |
| 样品台 Z 轴行程 | 50 mm | 50 mm | 38 mm |
| 样品台 T 轴倾斜度 | -10 - +90 度 | -4 - +70 度 | -10 - +90 度 |
| 样品台 R 轴旋转角度 | 360°连续 | 360°连续 | 360°连续 |
