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马尔轮廓仪 MarSurf XC 20 的介绍
MarSurf XC 20 明显地扩展了 MarSurf XC 2 的测量功能, 下面的图片显示 MarSurf XC 20 系统配合 PCV 200 驱动器, 并安装于 ST 500 工作台上。
数十年的轮廓测量经验应用在 MarSurf XC 20 中,使其可以胜任不同领域的复杂轮廓测量任务。
马尔轮廓仪 MarSurf XC 20 的技术特征
PCV 200 驱 动 器 具 有 200mm(7.87in) 的 测 量 长 度 用 50mm(1 .97in)的行程,与 MarSurf XC 2 比较提供更多的功能显示的测量段无数量限制,每个测量段在记录中都彼此独立利用双测头可以对反向轮廓进行测量, 例如既要求测量孔内也要求测量外部参数的情况。在 XC 20 软件中, 两个相对轮廓都可以按标准进行评定,及对两个轮廓相关的参数进行计算。
Mahr 轮廓仪 MarSurf XC 20 优势和技术参数
MarSurf XC 20
PCV 200 轮廓驱动单元
可更换测杆,根据测量任务做出
优势
· 以可调整的速度,自动降低和抬高测杆
· 测量力 1mN 至 120mN
· 定位速度
· 已申请的测杆安装方式, 无需工具即可对测杆进行重复更换
· 碰撞保护功能
· 刚性设计和新材料的使用保证了优异的动态性能
· 多种定位和测量速度
· 驱动单元上无控制元件
→结果可靠
技术数据
扫描长度(X方向) | 0.2mm至200mm |
测量范围(Z方向) | 350mm测杆时50mm |
175mm测杆时25mm | |
测量系统(X方向) | 高精度增量式测量系统 (激光干涉仪出厂校准) |
测量系统(Z方向) | 高精度和线性的电感传感器 |
Z方向分辨率,针对测针针尖 | 350mm测杆时0.38μm |
175mm测杆时0.19μm | |
采样速率(X方向) | 1.0μm至8.0μm |
Z方向分辨率,针对测量系统 | 0,04μm |
导轨自身偏差 | <1μm(200mm以上) |
测量力(Z方向) | 1mN至120mN,上和下 |
行程升角 | 在平滑表面上,取决于表面倾斜角度. 爬升角高至88°,下降角高至77° |
测量速度(X方向) | 0.2mm/s至4mm/s,调节增量 0.1mm/s |
接触速度(Z方向) | 0.1mm/s至1mm/s,可调节 |
定位速度(X方向)和返回速度 | 0.2mm/s至8mm/s |
定位速度(Z方向) | 0.2mm/s至10mm/s |
测杆长度 | 175mm,350mm |
针尖半径 | 25 um |