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TDS是一种质谱仪,通过监测在超高真空中加热/升温后从材料表面产生的气体,可以评估表面杂质和调查材料本身的成分,目前在半导体、液晶、有机EL、电气、钢铁、汽车、陶瓷等各种领域,用于材料的研究和制造过程中的评估,以及质量控制。
红外加热型升温脱附质谱仪TDS1200II是一种通过质谱仪实时观测样品在超高真空中编程升温时脱附的分子的分析仪。
由于在真空中进行测量,水,氢,氧,二氧化碳等容易产生高背景的成分也可以从极小的量中检测出来。
可以对从样品中脱附的分子进行化学物种的鉴定和定量。此外,它还提供了脱附气体的吸附/结合状态和扩散过程等信息。
它是测量薄膜样品和薄板样品的理想选择,这些样品容易进行红外加热。新款TDS1200II更新了原有TDS1200的系统,界面采用触控面板。符合CE使用标准。
主要特色
● 进料固定室:能够将样品快速地导入超高真空分析室,提高测量效率(高吞吐量)和灵敏度
● 红外加热系统:通过石英棒引入的红外线直接加热样品,即使在高温区域,本底水平的升高也最小化,可实现高灵敏度测量
● 四级杆质谱仪(QMS)布局:QMS电离室设置在样品的正上方,以高灵敏度地检测脱附气体
● 脱附气体的定量:当前的定量程序可以快捷、安全地定量脱附气体