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主要特点
● 高效键合:采用的解键合技术,提供高效、稳定的键合过程
● 多种解键模式:提供多种解键模式,以满足客户不同的需求
● 高精度光学定位:采用高精度光学定位技术,确保键合精度,从而提高生产效率
● 易于使用:具有易于使用的操作界面,操作员可以快速上手
● 可靠性:采用的设计理念和技术,具有很高的可靠性
EVG 805 解键合系统的工艺流程通常包括以下步骤:
1. 预处理:清洗并准备样品,以确保样品表面干净无污染
2. 键合:使用 805 解键合系统在样品表面上进行键合处理,包括表面预处理、键合反应和残留物处理等
3. 质检:对键合后的样品进行质量检查,以确保键合效果符合要求
4. 解键合:使用 805 解键合系统对键合后的样品进行解键合处理
5. 结果分析:对键合和解键合后的样品进行分析,以评估键合效果和解键合效率