X'Pert³ MRD 高分辨X射线衍射仪

XPert³ MRDX'Pert³ MRD 高分辨X射线衍射仪

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具体成交价以合同协议为准
2023-09-13 09:47:08
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上海德竹芯源科技有限公司

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产品简介

高分辨率X射线衍射仪,主要用途为测量 Si, Ge, SiC, GaN, InGaN, AlGaN, GaAs, InP, AlN, GaSb 等化合半导体材料的单晶和外延层材料的结晶完整性,外延层及相应半导体器件结构的组分、厚度、弛豫度等参数的测定,外延结构的晶格失配及应变状态分析,X-Y map均匀性分析,双轴晶和三轴晶X射线衍射,对称和非对称扫描,Out-of-plane 和 In-plane 衍射扫描等。

详细介绍

设备功能

倒易空间扫描(RSM) – 一分钟完成自动扫描及自动分析

高分辨衍射(HRXRD) – W/2T,2T/W,2T……扫描

摇摆曲线(Rocking Curve) – W 扫描

反射率(XRR) – 材料密度,厚度,粗糙度(Option)

晶格参数(Lattice parameter),晶向(Orientation)及晶面鉴定(Reflection plane)

切角(Off-Cut)及平辺方向(Flat)鉴定

晶体缺陷鉴定(Defect)

曲率半径鉴定(Curvature)

应力(Strain)及弛裕度(relaxation)鉴定

晶格失配率鉴定(Mismatch)

成份分析,厚度分析

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