● DC 直流 /（IV、CV）测试

● 低电流（100fA 级）测试

● 器件表征测试、WLR 可靠性

● 大功率 / 大电流 / 大电压测试等

● RF 射频测试

● 1/f 噪声测试

● FA 失效分析测试

探针台主体

● XY行程范围：6 英寸 - 12 英寸

● XY行程分辨率：< 1.0 µm

样品台

● 样品台：4 英寸 - 12 英寸

● 高温：20 - 300°C

● 大电压大电流：3000V / 1500A

定位器

● X-Y-Z移动行程：12mm × 12mm × 12mm

● 移动精度：10um / 2um / 0.7um / 0.5um

线缆

● 同轴线 / 三同轴线

● 漏电精度：10pA / 100fA / 10fA

探针

● 针尖直径：0.2um / 1um / 2um / 5um / 10um / 20um

● 针尖材质：钨钢 / 铍铜

屏蔽系统

● EMI / RFI / 不透光屏蔽，超低噪声，低泄漏测量功能

防震系统

● 阻尼隔振系统 / 精密气浮隔震台

● 平面度：< 0.05mm/m²

● 表面粗糙度：< 0.8μm