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上海所在地
● 高低温探针台在高温及低温电学性能测量
● 真空腔
● 设计合理
● 真空度稳定
● 温控精度及机械精度高等
● 样品台：镀金样品台
● 样品台尺寸：2英寸/4英寸/6英寸
● 单筒显微镜：放大倍数 50 倍
● 视频成像配置： CCD成像系统，放大倍数 300 倍
● 探针臂：x/y/z 行程 40mm，精度 1μm
● 探针配置：DC/射频探针
● 真空系统：机械泵或分子泵
● 真空度：10-3 Torr - 10-6 Torr
● 观察窗口：100mm
● 温度范围：液氮制冷 77K - 570K，液氦制冷 10K - 570K，温度可到 1000K
● 温控精度：0.1K / 0.01K / 0.001K
● 制冷方式：液氮、液氦或制冷机系统
