腔体结构:  立式前开门，卧式前开门，后置真空获得系统

材质用料:  腔体采用优质SUS304不锈钢材质

离子弧源:  依据设备大小不同配备多套弧电源系统

偏压电源:  配备大功率单级脉冲偏压电源

多弧靶材:  标配多套钛靶或不锈钢靶材

转动系统: 变频调速，公自转结合，可采用上传动或下传动方式

真空系统:  扩散泵（可选分子泵）+罗茨泵+机械泵+维持泵+深冷系统（可选）

气体控制:  多路气体质量流量控制系统

加热系统:  全新铠装加热装置，350℃PID可调温控。

智能控制: PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面，实现逻辑全自动控制

报警及保护:异常情况进行报警，并执行相应保护措施。

其他技术参数：

极限真空： 5.0×10-4Pa

抽气速率： 5.0*10-2≤5min

水压流速≥0.2Mpa 3m3/h；水温≤25℃；气压：0.4-0.8Mpa；

一般规格：Φ2000mm*H4000mm   Φ2200mm*H4500mm

真空室尺寸或设备配置可按客户产品及特殊工艺要求订做