腔体结构： 立式前开门，卧式前开门，后置真空获得系统

材质用料： 腔体均采用优质不锈钢

制膜种类：蒸发镀铝+硅油保护膜

硅油重合：采用美国MKS硅油流量阀，全不锈钢硅油存储与输出装置。

转动系统：变频调速，可6轴或8轴转动系统（可定制）

电源系统：蒸发电源+轰击电源

真空系统：扩散泵（可选分子泵）+罗茨泵+机械泵+维持泵+深冷系统（可选）

气体控制：质量流量控制仪＋电磁阀

离子清洗：配备高压离子轰击清洗系统

蒸 发 源：搭配多组转为车灯镀膜研发电阻蒸发源

智能控制: PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面，实现全自动控制

报警及保护:异常情况进行报警，并执行相应保护措施。

其他技术参数：

极限真空： 5.0×10-4Pa

抽气速率： 5.0*10-2≤5min

水压流速≥0.2Mpa 3m3/h；水温≤25℃；气压：0.4-0.8Mpa；

备注：

一般规格:Φ1600mm*H2000mm，Φ1800mm*H2000mm,Φ2000mm*H2200mm

真空室尺寸或设备配置可按客户产品及特殊工艺要求订做