腔体结构:  立式前开门，卧式前开门。

材质用料：腔体材质为SUS304不锈钢或碳钢

真空系统:  扩散泵（可选分子泵）+罗茨泵+机械泵+维持泵（另有深冷泵系统可供选择）

溅射靶材:  中心圆柱靶，平面靶，孪生靶等

磁控电源:  可配备直流或中频磁控溅射电源

转动系统:  变频调速，公自转结合,可根据客户产品和要求设计

膜层结构:  单层膜、多层膜

气体控制:  气体流量控制仪集成触控操作控制

人机界面: PLC智能控制+MI触摸屏

操作方式: 逻辑全自动方式、半自动方式、手动方式

智能控制: PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面，实现全自动控制

报警及保护:异常情况进行报警，并执行相应保护措施。

其他技术参数：

极限真空： 5.0×10-4Pa

抽气速率： 5.0*10-2≤5min

水压流速≥0.2Mpa 3m3/h；水温≤25℃；气压：0.4-0.8Mpa；

备注:

一般规格:

真空室尺寸或设备配置可按客户产品及特殊工艺要求订做