MPG40x 大气压至超高真空真空计

INFICON 倒置磁控管皮拉尼MPG400 和 MPG401型真空计测量，测量范围从 5 x 10-9 毫巴至大气压（3.8 x 10-9 托至大气压）。 将多项技术融合到到一个带有对数模拟输出信号的单个紧凑数装置中，极大降低了安装、设置和集成的复杂性。

益处

• 复合真空计 – 倒置磁控管与皮拉尼
• 测量范围广，从 5 x 10-9 毫巴到大气压
• 不会出现单丝烧毁的现象
• **的点火属性
• 易于清洁
• FPM 或金属密封馈入装置
• 高压 LED 指示灯
• 对数模拟输出信号

典型应用

• 高真空压力监控
• 蒸发系统和溅射系统的基本压力
• 中高真空范围内的一般真空测量和控制