产品简介
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG302 涵盖从 1.3 × 10-9至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9至 5 × 10-2 Torr）的广泛测量范围。紧凑型一体化热电离真空计 BAG302 能够轻松地更换双丝极传感器、内置 OLED 显示器、设定点继电器和对数线性模拟输出以及集成 RS485 数字接口，提高了集成灵活性。这些功能配以坚固的设计，使 BAG302 为其自身的基本压力测量仪器带来经济且可重复的过程，并提供高价值/低拥有成本的选择。
详细介绍
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG302 涵盖从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）的广泛测量范围。紧凑型一体化热电离真空计 BAG302 能够轻松地更换双丝极传感器、内置 OLED 显示器、设定点继电器和对数线性模拟输出以及集成 RS485 数字接口，提高了集成灵活性。这些功能配以坚固的设计，使 BAG302 为其自身的基本压力测量仪器带来经济且可重复的过程，并提供高价值/低拥有成本的选择。 
好处 1，测量范围从 1.3 × 10-9至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9至 5 × 10-2Torr） 2，双标准长使用寿命氧化钇铱丝 3，一体式主动测量仪，内置显示器、设定点、模拟输出和标准集成式 RS485 数字接口 4，带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏，简化设置、操作和编程 5，用户可编程的设定点继电器 6，用户可编程的显示器单位：mbar、Torr 或 Pa 7，用户可选的发射电流自动设换范围 8，机械强度和坚固性 9，各种法兰的选择 10，易于更换的传感元件 11，合规和标准：CE、RoHS 12，直接取代 Granville-Phillips®354 Micro-Ion®模块 – 包括软件命令在内的相同控制功能 （RS485）（Granville-Phillips®和 Micro-Ion®是 MKS Instruments， Andover， MA 的注册商标）
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典型应用 1，对半导体过程和传输腔室的压力测量 2，工业镀膜 3，低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制
