新型 INFICON 皮拉尼压电组合真空计 （PPG570） 基于*的 MEMS（微机电系统）传感器技术，该技术也用于我们的 PPG550“ATM 至中真空”压力计。

PPG570与PPG550的区别在于附加安装的ATM传感器，允许在经典的负载锁定应用中使用PPG570。例如，在半导体行业或任何其他真空应用中，相对于大气环境压力的精准压力测量非常重要。

在MEMS工艺中小型化的皮拉尼/压电组合技术可以构建一个非常小的传感器，从而节省空间，这使得测量设备的整体高度非常小成为可能。

除了高度低的优势外，基于MEMS技术的皮拉尼还具有在高压范围内比经典皮拉尼更深、更精准地测量的优势。结合安装在同一法兰上的MEMS压电传感器，皮拉尼真空计成为真正的真空宽量程计，将测量范围扩展到远远超过通常的1000 mbar，也朝向大气。同时，MEMS压电传感器提供2 ...1333毫巴。上述技术的另一个优点是增加了对加速力和振动的抵抗力。

*后但并非*不重要的一点是，新型 INFICON PPG570 可用于直接插入，以取代所谓的 MKS 仪器 MKS901P“微型皮拉尼™和压电负载锁真空压力传感器”。PPG570具有相同的连接器/引脚分配，模拟输出和RS232/485数字通信协议兼容性。

好处
1，气体类型与 2 mbar 以上无关 – 允许使用任何气体混合物安 全排气
2，在大气中具有高精度和可重复性 – 用于可靠、快速的大气压检测
3，大气环境压力测量
4，多达 3 个固态继电器
5，安装方向的多功能 – 为工具设计提供工程自由度
6，可选模拟输出信号，便于系统集成
7，数字接口 RS232/ RS485
8，能够直接插入替换MKS901P“微型皮拉尼™ - 和压电负载锁真空压力传感器”。
9，合规性和标准：CE，EN，UL，CSA，RoHS

典型应用
1，半导体负载锁应用
2，用于分析设备/质量分离计
3，物**相沉积
4，物**相沉积