INFICON Augent^TM光学等离子体测量仪是一种紧凑的智能真空监测解决方案。AugentTM 将两种传感器技术结合到一个紧凑的设备中，用于 1 x 10-7 至 5 mbar 的气体类型监测，并同时测量 1 x ^10-7mbar 到大气压的总压力。Augent^TM由集成的皮拉尼传感器保护，可关闭 20 mbar 以上的等离子体。快速光学测量原理原则上可以检测任何类型的气体。

好处 

1，高速泄漏检测允许腔室泄漏测试

2， 提高生产率和产量 

3，使用寿命长，无灯丝**，气涌保护 

4，承受工艺化学反应 

5，智能算法，易于集成 

6，设计紧凑，占地面积小 

7，可靠且快速的启动 

典型应用

1，腔室泄漏检查，更快的RoR（上升速率）测试 

2，泄漏检查以查找供气管线的内部泄漏 

3，实时终点控制 

4，气体类型和浓度控制