BCG450 大气压至超高真空三合一真空计

INFICON贝阿德-阿尔珀特皮拉尼（Pirani）BCG450型电容膜片真空计将三大不同技术的优势融合在一个单个、紧凑和经济的可以测量 5×10-10 到 1500 毫巴（3.75×10-10 到 1125 托）的过程压力和基准压力的工具包里。 BCG450型电容式膜片真空计的设计旨在替代三个传感器（热离子、热量增强型皮拉尼和真空开关），从而节省成本和宝贵的工具空间。

益处

• BCG450 可节省成本和工具空间，降低真空测量安装与设置的复杂性
• 10 托以上的压力测量不受气体类型限制，能够对任何气体混合物提供更为可靠的加载互锁控制
• 皮拉尼联锁保护热丝，防止过早烧毁
• 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
• 大气压下的压差测量消除了大气压力变化引起的不确定
• 易于更换的传感元件与板载校准数据确保再现性
• 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
• RoHS 合规

典型应用

• 半导体过程、传输腔室和加载互锁真空室的压力测量
• 工业镀膜
• 低真空和超高真空范围内系统的一般真空测量和控制

新闻

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