HPG400 大气压至高真空真空计

INFICON 高压热电离皮拉尼HPG400型真空计 将高压热电离技术与皮拉尼传感器整合在一个单个紧凑经济的装置中，可测量 2×10-6 毫巴至大气压（1.5×10-6 托至大气压）范围内的压力。 HPG400 型真空计为**的溅射过程压力控制提供重复测量并再现测量数据。

益处

• HPG400 可节省成本和工具空间，降低真空系统安装与设置的复杂性
• 高压热电离真空计可以准确可靠地测量 1×10-5 … 1 毫巴范围内的压力，进而改善过程控制
• 用户可选的热离子发射在 5×10-2 至 1 毫巴之间启动
• 皮拉尼联锁保护热丝，防止过早烧毁
• 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
• 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
• RoHS 合规

典型应用

• 半导体制造、电子和媒介产业中的溅射应用
• 工业镀膜
• 低真空和高真空范围内的一般真空测量和控制