干式氦气检漏仪 UL3000 Fab (PLUS)

 

 

INFICON 氦气检漏仪 UL3000 Fab (PLUS) 设计用于满足半导体应用中的泄漏检测要求。

此款检漏仪具有灵活性、可移动性、高灵敏度和可靠性，能够快速启动并提供快速准确的测量结果。

 

快速获得结果
改进后的真空系统采用低维护真空泵设计，在大气压力下即可检测泄漏。耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本。UL3000 Fab PLUS 中的 HYDRO-S 软件可消除系统中的水汽，使泄漏检测过程更加迅速。 

UL3000 Fab PLUS 采用成熟的嗅探器线路 SL3000（长度可达 10 m），嗅探能力得到进一步提升。

 

旋转式遥控显示器 
新型触摸屏显示器可远距离显示测量结果和状态信息。通过用户引导型菜单结构可轻松进行操作，即使缺乏经验的操作员也能胜任。可通过智能手机或平板电脑对 UL3000 Fab (PLUS) 进行无线控制 - 无需特殊软件或应用程序。按下按钮，即可将记录和存储的检测结果传输到其他存储介质中，以进行进一步分析。

 

纤薄设计，实现高度的可操作性 
低重心、大底轮、符合人体工程学设计的手柄和纤薄外壳，使得 UL3000 Fab (PLUS) 即使在狭小的空间内也能移动自如。

 

功能

• 可在大气压力下测量
• 直观的用户指南与触摸屏显示器
• 坚固耐用的真空系统，不易受灰尘和污染物影响
• 转弯半径小，移动性能出色
• 可使用智能手机通过网络浏览器进行操作
• 维护要求低
• 设备上已附带配件

典型应用

• 在现有工具中安装前对部件执行检漏
• 工艺气体系统的检查和安装
• 使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试
• 在对检测条件和清洁度要求严苛的环境中进行的泄漏检测