Quantus LP100 气体分析仪 

实时终点检测和检漏

INFICON Quantus LP100 气体分析仪可在关键过程环境中进行实时检漏和终点检测。许多过程对泄漏都很敏感，或要求进行终点检测。Quantus LP100 是一种气体分析仪，专门用于实时应对敏感过程环境中的细微变化，以*大限度地减少报废，提高产出。

功能

• 方便的现场可更换等离子单元
• 使用标准 KF25 连接方便地安装
• 更低的维护成本
• 低至 ppm 级的出色检测下限
• 工作范围为 10 mTorr 至 1 Torr
• 长期可靠性：无需泵
• 低拥有成本
• 快速的 10 Hz 采样频率
• 精致小巧（高 x 宽 x 长）87 x 151 x 241 mm (3.4 x 5.9 x 9.5 in.)
• 有经验的现场培训 INFICON 工程师提供支持