Transpector XPR3 气体分析系统

无需复杂压力转换的 PVD 过程监控

Transpector XPR3 提供的 RGA 过程监控功能可以为您提供有关污染级别、除气级别、气体纯度和设备操作等方面的实时数据。用户可以根据此信息检测和诊断问题，从而*大化吞吐量和产量，也可以根据此信息制定更有效的预防性维护计划，从而延长工具运行时间。

Transpector XPR3 是新一代气体分析系统，可用于基于四极杆的高压过程气体分析。它借鉴了之前 INFICON 系统的成功经验，具有****的灵敏度、准确性和灵活性，可以监控气相沉积 (PVD) 过程。Transpector XPR3 取得了一系列技术上的突破，无需大型、复杂的压力转换设备，即可在 20 mTorr 至超高真空范围内操作。

功能

• 经过重新设计的离子源*大限度减少污染积存，可延长使用寿命，提供更纯净的信号。
• 新 EM 在 PVD 过程压力下工作，可实现更快速、更纯净的数据收集，消除 FC 向 EM 过度的必要，更便于数据分析。
• 更长的新型四极杆提高了低质量范围下的滤波性能，增强了丰度灵敏度，从而提高了氢气检测灵敏度。

典型应用

• PVD 过程模块
• 预清洗模块
• 非群集 PVD 工具
• 夹钳式除气模块