新一代数字化控制，五轴定位的磁悬浮分子泵 
MAG　1500C／CT，MAG2000C／CT，MAG2200C／CT，MAG　2800C／CT，MAG　3200C／CT 
抽速：1500l／s～3200l／s　 
●五轴定位双端磁悬浮轴承系统，自平衡性能好全无油，耐粉尘、抗气流冲击。 
●转子采用高强度铝合金，一次高速铣削成形，应力小，强度高，耐冲击，高温变形量小，转子叶片不易卷曲、打碎；转子长期运行温度可高达120℃。　 
●转子及定片均采用莱宝砖利技术的　KAPLAR　涂层　 
●较镀镍的转子具有更强的防腐蚀性能，适用于抽除腐蚀性强的工艺气体；　 
●降低气流与转子叶片摩擦产生的热量，降低转子运行温度，有利于延长转子寿命； 
●叶片镀　KAPLAR　的转子较镀镍的转子重量更轻。 
●保护轴承为陶瓷轴承，寿命长（＞600次），无需更换保护轴承。 
●高真空端连接采用ISO-F，连接螺栓强度高，充分保障安全。 
●智能化电源，无需UPS。　 
●带拖动级，前级耐压在2mbar以上。　 
●分子泵运行温度可调节，使其充分适应不同工艺制程。　 
●*的数字控制技术 
●运行速度、温度可设置；　 
●运行数据记录存储，提供多达180条运行信息；　 
●磁悬浮轴承及泵运行温度采用数字化控制，信号处理速度快，系统反应时间短　 
●转子受气流冲击或杂物不均匀沉积在叶片而使转子动平衡变化时，磁场补偿反应时间短；　 
●在气流长时间（2分钟以上）过大，而使泵负载过高，发热量过大时，泵速会快速自动调节，使泵温下降到正常水平。　 
●控制器与泵无识别性，可互换。　 
●免维护。 
 
典型应用： 
适用于　 
●所有半导体主要制程：刻蚀、化学气相沉淀及离子注入　 
●科研领域　 
●镀膜　 
另外，莱宝公司磁悬浮分子泵系统中还包括单轴定位的　TURBOVAC340M，MAG400和MAG　1000。

TURBOVAC (T) 350-450 i采用**的模块化设计理念，可以根据对压强和气载量的要求来优化产品性能，*大限度地满足客户的需求。

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