新型 INFICON 皮拉尼压电组合压力计 （PPG550） 基于*的 MEMS（微机电系统）传感器技术。

在MEMS工艺中小型化的皮拉尼/压电组合技术可以构建一个非常小的传感器，从而节省空间，这使得测量设备的整体高度非常小成为可能。

除了高度低的优势外，基于MEMS技术的皮拉尼还具有在高压范围内比经典皮拉尼更深、更精准地测量的优势。结合安装在同一法兰上的MEMS压电传感器，皮拉尼真空计成为真正的真空宽量程计，将测量范围扩展到远远超过通常的1000 mbar，也朝向大气。同时，MEMS压电传感器提供2 ...1333毫巴。上述技术的另一个优点是增加了对加速力和振动的抵抗力。

*后但并非*不重要的一点是，新型 INFICON PPG550 可用于直接插入，取代所谓的 MKS910“双传™微型皮拉尼 - 压电真空压力传感器”以及 MKS925“微型皮拉尼™™真空压力传感器”。Inficon 具有相同的连接器/引脚分配、模拟输出和 RS232/485 兼容性。