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大气机械手Blade-D156

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新松机器人自动化股份有限公司(以下简称“新松”)成立于2000年,隶属,是一家以机器人技术为核心的高科技上市公司。作为中国机器人企业及国家机器人产业化基地,新松拥有完整的机器人产品线及工业4.0整体解决方案。以创新、开放和共赢的思维行业进步,以的产品和服务为客户持续创造价值。新松本部位于沈阳,在上海设有国际总部,在沈阳、上海、杭州、青岛、天津、无锡建有产业园区。同时,新松积极布局国际市场,在韩国、新加坡、泰国、香港等地设立多家控股子公司,现拥有4000余人的研发创新团队,形成以自主核心技术、核心零部件、核心产品及行业系统解决方案为一体的全产业价值链。作为中国机器人产业头雁,新松已创造了百余项一。成功研制了具有自主知识产权的工业机器人、协作机器人、移动机器人、特种机器人、服务机器人五大系列百余种产品,面向智能工厂、智能装备、智能物流、半导体装备、智能交通,形成产业方向,致力于打造数字化物联新模式。产品累计出口30多个国家和地区,为3000余家国际企业提供产业升级服务。新松紧抓新一轮科技革命和产业变革契机,发挥人工智能技术的赋能效应,以工业互联网、大数据、云计算、5G网络等新一代科技推动机器人产业平台化发展,打造集创新链、产业链、金融链、人才链于一体的生态体系。聚焦核心技术,共享智能时代。智慧新松,未来!

详细信息

耦合传动、伺服驱动、洁净传动及润滑、SCARA手臂结构,具有占用空间小、大伸缩比、高精度、高洁净度等优点。迎合个性化设计,手指及接口用户可定制,网络化控制系统,高效率传片和碰撞保护功能,SEMI认证S2F47MCBF大于1000万次。负责完成晶圆在FOUP、缓冲室、工艺位置等之间的自动传送。是半导体行业的*之选择。

参数:

结构形式Mechanical Structure

柱坐标型/SCARA Cylindrical Coordinate/SCARA

负载Payload

名称name

晶圆wafer

直径diameter

2/4/6/8/12

重量weight

0.5kg

自由度数DOF

4

手数量Number of Arm

2

回转直径Maximum Swing diameter

586mm

运动范围

Moving Range

升降轴 (Z)Up/Down( Z)-Axis

450mm

回转轴 (T) Rotational(T)-Axis

340°

伸展轴 (R1R2) Extension(R1R2)-Axis

R660mm

节拍

Swap time

升降轴 (Z)

Up/Down( Z)-Axis

0.5sHome to Fullextension

回转轴 (T) Rotational(T)-Axis

0.7s/180°

伸展轴 (R1R2) Extension(R1R2)-Axis

1.2s/450mm

重复定位精度

Repeatability

升降轴 (Z)Up/Down( Z)-Axis

±0.1 mm(3σ)

回转轴 (T) Rotational(T)-Axis

±0.006°(3σ)

伸展轴 (R1R2) Extension(R1R2)-Axis

±0.1 mm(3σ)

行程

660mm

洁净度Clean Class

ISO CLASS 1

主机重量Body Weight

70 kg

电源Power Supply

208VAC(50Hz/60Hz)


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