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真空传输平台DIAGRAM 600

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新松机器人自动化股份有限公司(以下简称“新松”)成立于2000年,隶属,是一家以机器人技术为核心的高科技上市公司。作为中国机器人企业及国家机器人产业化基地,新松拥有完整的机器人产品线及工业4.0整体解决方案。以创新、开放和共赢的思维行业进步,以的产品和服务为客户持续创造价值。新松本部位于沈阳,在上海设有国际总部,在沈阳、上海、杭州、青岛、天津、无锡建有产业园区。同时,新松积极布局国际市场,在韩国、新加坡、泰国、香港等地设立多家控股子公司,现拥有4000余人的研发创新团队,形成以自主核心技术、核心零部件、核心产品及行业系统解决方案为一体的全产业价值链。作为中国机器人产业头雁,新松已创造了百余项一。成功研制了具有自主知识产权的工业机器人、协作机器人、移动机器人、特种机器人、服务机器人五大系列百余种产品,面向智能工厂、智能装备、智能物流、半导体装备、智能交通,形成产业方向,致力于打造数字化物联新模式。产品累计出口30多个国家和地区,为3000余家国际企业提供产业升级服务。新松紧抓新一轮科技革命和产业变革契机,发挥人工智能技术的赋能效应,以工业互联网、大数据、云计算、5G网络等新一代科技推动机器人产业平台化发展,打造集创新链、产业链、金融链、人才链于一体的生态体系。聚焦核心技术,共享智能时代。智慧新松,未来!

详细信息

Diagram600晶圆传输平台,符合集成电路工艺精度和净化要求,并具有高精度、高效率、高洁净度和高可靠性,是链接物料搬运系统与硅片处理系统的桥梁,能够保证硅片在不受污染的条件下被准确安全的传输。在半导体前道设备中广泛应用,对设备可靠性要求高。灵活的本地化、可定制化服务,快速响应的售后服务,以及敦实的技术实力,是我们的主要竞争力。推动了国内半导体产业链的进步,有效的支撑了国内设备商的发展。

参数:

Item

Specification

晶圆类型

Wafer types

SEMI standard silicon wafers

晶圆尺寸Wafer Size

100mm,150mm, 200mm

定位标记

Alignment Mark

Notch & Flat

厚度thickness

150mm wafer: 0.675mm±10%;

200mm wafer: 0.75mm±10%

Cassette类型

Cassette types

configurable for 150mm, 200mm SEMI Standard cassettes.

传输平台

Transport Plane

900 mm at VCE platform(SEMI-std)
1100 mm per SEMI std E21-91 at Process Module side(9.5 mm above slot centerline)

晶圆取放精度

Wafer placement repeatability

0.2mm

真空度Vacuum level

rough pumping: 5 mTorr

漏率Leak rate

0.5 mTorr/minTest after 24 hours pump


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