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真空机械手Titan1500C
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详细信息
Titan1500C作为LED芯片制造领域的真空机械手产品，大负载真空机械手主要用于LED芯片制造过程中，实现装有大量LED晶圆的托盘在各个工艺腔室间的传送，具有真空度高，传输效率高，负载能力强，耐高温等特点，大大提高了LED芯片生产制造的良率和效率，是LED芯片制造装备的关键产品。本产品在集成电路制造用真空机械手的基础上，针对其大负载需求，创新了其传输结构和控制规律，使其能够达到12kg的负载能力，同时保持很小的占用体积，保持高耐真空度及洁净等级。
参数：
结构形式Mechanical Structure | 柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA | |
驱动方式Driving method | 伺服电机Servo Motor | |
手数量Number of Arm | 单臂Single Arm | |
负载Payload | 名称Name | 托盘Tray |
直径Diameter | Φ716mm | |
重量Weight | ≤12kg | |
自由度数DOF | 3 | |
手臂长度Arm Length | 355mm | |
手指长度（安装中心至硅片中心） Finger length(distance from install center to wafer center) | 810mm | |
运动范围 Moving Range | R轴R-axis | ≤1500mm |
θ轴θ-axis | 无限回转Infinite Rotation | |
Z轴Z-axis | 150mm | |
全行程最小时间 Swap time | R轴R-axis | ＜27.8s（Home to Extend 1500mm） |
θ轴θ-axis | ＜15s(180°) | |
Z轴Z-axis | 13s（150mm） | |
重复定位精度Repeatability | R轴R-axis | ±0.2mm(3σ) |
θ轴θ-axis | ±0.2mm(3σ) | |
Z轴Z-axis | ±0.2mm(3σ) | |
最小回转半径Robot Clearance Radius | 762.5mm | |
下垂量Deflection | 5mm | |
真空度 Vacuum level | ＜5×10-9 Torr | |
漏率Leak Rate | ＜1×10-9 std.cc/sec He | |
电源Electrical | 208VAC(50Hz/60Hz) | |
电源范围 电压波动范围 | 单相交流208V +10%，-15% | |
通信接口Communication Network | Ethernet | |
重量Drive body+arm set weight | 195kg | |
行程 | 1500mm | |
